الاختصارات شائعة الاستخدام لأنشطة تصنيع أشباه الموصلات وحدة مروحة المرشح
عملية عملها الرئيسية هي:
(1) بواسطة معالج تكييف الهواء إلى الهواء (الهواء النقي) المعالج في نقطة الحالة المطلوبة المرسلة إلى صندوق الضغط الساكن ومزيج الهواء العائد ، ثم بعد مروحة وحدة مروحة المرشح المضغوطة بواسطة مرشح عالي الكفاءة (HEPA) أو مرشحات هواء فائقة الكفاءة (ULPA) يتم ترشيحها في الغرفة النظيفة ؛
(2) الهواء القديم الأصلي من خلال الأرضية المرتفعة أو الجدار الجانبي يتم تسليمه مرة أخرى إلى الملفات الجافة ، في الملفات الجافة في المعالجة الباردة (الساخنة) ، ثم عن طريق الظهر إلى الآلة المضغوطة المرسلة مرة أخرى إلى صندوق الضغط الساكن ، وهذا يكمل العملية.
(3) بعد المعالجة الباردة (الساخنة) في الملف الجاف ، يتم إرساله مرة أخرى إلى صندوق الضغط الساكن بواسطة مكبس الإرجاع ، والذي يكمل الدورة الكاملة لتنقية الهواء في الغرفة النظيفة.
غالبا ما يستخدم هذا النظام في الأماكن التي تحتاج إلى غرف نظيفة فائقة الهدوء ، مثل الغرف النظيفة لصنع رقائق الدوائر المتكاملة الكبيرة ، وشاشات TFT ، والأقراص الصلبة ذات الحالة الصلبة ، وما إلى ذلك.
بالنسبة لأولئك الذين يتطلعون إلى تحسين إعداد غرفتهم النظيفة ، فإن مروحة العادم من سلسلة FKL55 مع فلتر هو اختيار ممتاز. يوفر خط الإنتاج هذا ترشيحا فائقا وتنقية الهواء ، مما يضمن بقاء غرفتك النظيفة خالية من الملوثات. انقر فوق الرابط لمعرفة المزيد والشراء مباشرة من موقعنا.
هذه المرة نقدم المصطلحات المستخدمة في تطبيقات أشباه الموصلات:
محطة المرافق المركزية CUP
مياه الصرف الصحي العضوية OWW
DAHW استنزاف نفايات أمونيا هيدريد
مياه الصرف الصحي لحمض الفوسفوريك PAW
VMB صمام صندوق مشعب
