الاختصارات الشائعة المستخدمة لأنشطة تصنيع أشباه الموصلات: وحدة مروحة المرشح
العملية الرئيسية للعمل فيها:
(1) بواسطة معالج التكييف إلى الهواء (الهواء النقي) الذي يعالج إلى نقطة الحالة المطلوبة المرسلة إلى صندوق الضغط الساكن وخليط الهواء العائد، ثم بعد وحدة مروحة الفلتر، يتم ضغط المروحة بواسطة فلتر عالي الكفاءة (HEPA) أو مرشحات هواء عالية الكفاءة (ULPA) إلى الغرفة النظيفة؛
(2) ينقل الهواء الأصلي القديم عبر الأرضية المرتفعة أو الجدار الجانبي إلى الملفات الجافة، وفي الملفات الجافة في المعالجة الباردة (الساخنة)، ثم يعود إلى الآلة المضغوطة التي ترسل مرة أخرى إلى صندوق الضغط الساكن، يكمل هذا العملية.
(3) بعد المعالجة الباردة (الساخنة) في الملف الجاف، يعاد إلى صندوق الضغط الساكن بواسطة مكبس الإرجاع، مما يكمل دورة تنقية الهواء بالكامل في الغرفة النظيفة.
يستخدم مثل هذا النظام غالبا في الأماكن التي تحتاج فيها إلى غرف نظيفة وهادئة للغاية، مثل الغرف النظيفة لصنع رقائق الدوائر المتكاملة الكبيرة، وشاشات TFT، والأقراص الصلبة، وما إلى ذلك.
لمن يرغب في تحسين ترتيب غرفته النظيفة،مروحة عادم سلسلة FKL55 مع فلترهو خيار ممتاز. تقدم هذه السلسلة ترشيح وتنقية هواء متفوقة، مما يضمن بقاء غرفتك النظيفة خالية من الملوثات. انقر على الرابط لمعرفة المزيد والشراء مباشرة من موقعنا.
هذه المرة نقدم المصطلحات المستخدمة في تطبيقات أشباه الموصلات:
محطة المرافق المركزية في CUP
مياه الصرف العضوية OWW
نفايات هيدريد أمونيا من DAHW
مياه صرف الصرف بحمض الفوسفوريك PAW
صندوق مشعب صمامات VMB
