الاختصارات شائعة الاستخدام لأنشطة تصنيع أشباه الموصلات وحدة مروحة مرشح
عملية عملها الرئيسية هي:
(1) بواسطة معالج تكييف الهواء إلى الهواء (الهواء النقي) الذي تتم معالجته في نقطة الحالة المطلوبة المرسلة إلى صندوق الضغط الثابت ومزيج الهواء العائد ، ثم بعد مروحة وحدة مروحة المرشح المضغوطة بواسطة مرشح عالي الكفاءة (HEPA) أو فلاتر هواء فائقة الكفاءة (ULPA) يتم تصفيتها في غرفة نظيفة ؛
(2) الهواء القديم الأصلي من خلال الأرضية المرتفعة أو الجدار الجانبي يتم تسليمه مرة أخرى إلى الملفات الجافة ، في الملفات الجافة في المعالجة الباردة (الساخنة) ، ثم من خلال الرجوع إلى الآلة المضغوطة التي يتم إرسالها مرة أخرى إلى صندوق الضغط الثابت ، وهذا يكمل العملية.
(3) بعد المعالجة الباردة (الساخنة) في الملف الجاف ، يتم إرسالها مرة أخرى إلى صندوق الضغط الثابت بواسطة مكبس الإرجاع ، والذي يكمل الدورة الكاملة لتنقية الهواء في الغرفة النظيفة.
غالبا ما يستخدم هذا النظام في الأماكن التي توجد فيها حاجة إلى غرف نظيفة فائقة الهدوء ، مثل الغرف النظيفة لصنع رقائق الدوائر المتكاملة الكبيرة ، وشاشات TFT ، والأقراص الصلبة ذات الحالة الصلبة ، وما إلى ذلك.
بالنسبة لأولئك الذين يتطلعون إلى تحسين إعداد غرفتهم النظيفة ، فإنمروحة عادم سلسلة FKL55 مع فلترهو اختيار ممتاز. يوفر خط الإنتاج هذا ترشيحا فائقا وتنقية هواء ، مما يضمن بقاء غرفتك النظيفة خالية من الملوثات. انقر فوق الرابط لمعرفة المزيد والشراء مباشرة من موقعنا.
هذه المرة نقدم المصطلحات المستخدمة في تطبيقات أشباه الموصلات:
محطة المرافق المركزية CUP
OWW مياه الصرف العضوي
DAHW استنزاف نفايات هيدريد أمونيا
باو حمض الفوسفوريك مياه الصرف الصحي
صندوق مشعب صمام VMB
