الاختصارات شائعة الاستخدام لأنشطة تصنيع أشباه الموصلات وحدة مروحة المرشح
عملية عملها الرئيسية هي:
(1) بواسطة معالج تكييف الهواء إلى الهواء (الهواء النقي) المعالج في نقطة الحالة المطلوبة المرسلة إلى صندوق الضغط الثابت ومزيج الهواء العائد ، ثم بعد ضغط مروحة وحدة مروحة المرشح بواسطة مرشح عالي الكفاءة (HEPA) أو مرشحات هواء فائقة الكفاءة (ULPA) تمت تصفيتها في الغرفة النظيفة ؛
(2) الهواء القديم الأصلي من خلال الأرضية المرتفعة أو الجدار الجانبي يعود إلى الملفات الجافة ، في الملفات الجافة في المعالجة الباردة (الساخنة) ، ثم عن طريق العودة إلى الآلة المضغوطة التي يتم إرسالها مرة أخرى إلى صندوق الضغط الثابت ، وهذا يكمل العملية.
(3) بعد المعالجة الباردة (الساخنة) في الملف الجاف ، يتم إرسالها مرة أخرى إلى صندوق الضغط الثابت بواسطة مكبس العودة ، والذي يكمل الدورة الكاملة لترشيح الهواء في الغرفة النظيفة.
غالبا ما يستخدم هذا النظام في الأماكن التي تحتاج إلى غرف نظيفة فائقة الهدوء ، مثل الغرف النظيفة لصنع رقائق الدوائر المتكاملة الكبيرة ، وشاشات TFT ، والأقراص الصلبة الصلبة ، وما إلى ذلك.
بالنسبة لأولئك الذين يتطلعون إلى تحسين إعداد غرفتهم النظيفة ، فإن مروحة عادم سلسلة FKL55 مع فلتر هو اختيار ممتاز. يوفر خط الإنتاج هذا ترشيحا فائقا وتنقية للهواء ، مما يضمن بقاء غرفتك النظيفة خالية من الملوثات. انقر فوق الارتباط لمعرفة المزيد والشراء مباشرة من موقعنا.
هذه المرة نقدم المصطلحات المستخدمة في تطبيقات أشباه الموصلات:
محطة المرافق المركزية CUP
مياه الصرف الصحي العضوية OWW
DAHW استنزاف نفايات هيدريد أمونيا
مياه الصرف الصحي PAW حمض الفوسفوريك
صندوق مشعب صمام VMB
